| 석사과정 유예빈학생 우수논문상 수상 (지도교수 : 유신재) | |||||
| 작성자 | 물리학과 | ||||
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| 조회수 | 1177 | 등록일 | 2022.06.17 | ||
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(사)한국반도체디스플레이기술학회 논문 수상 학회명 : 2021년도 추계학술대회 연구실명 : 응용플라즈마물리실험실 수상명 : 우수논문상 논문명 : N2/O2 유도결합 플라즈마를 이용한 포토레지스트 에싱공정에서 인가전력에 따른 공정 변화 분석 저자 : 유예빈(주저자), 유신재(충남대)
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충남대학교 자연과학대학 물리학과
DEPARTMENT OF PHYSICS
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